- Tytuł:
-
Modyfikacja technologii polerowania płytek GaSb stosowanych jako podłoża w procesie epitaksji = Modification of mechanical-chemical treatment technology of epi-ready GaSb substrates
Materiały Elektroniczne. T. 42 Nr 2
Modyfikacja technologii polerowania płytek GaSb stosowanych jako podłoża w procesie epitaksji
Electronic Materials T. 42 Nr 2 - Autorzy:
- Smoczyński, Dariusz
- Data publikacji:
- 2014
- Wydawca:
- ITME
- Słowa kluczowe:
-
GaSb
obróbka mechaniczno-chemiczna
oxidation
roughness
mechanical - chemical treatment
epitaxy
epitaksja
utlenianie katalityczne - Pokaż więcej
- Dostawca treści:
- RCIN - Repozytorium Cyfrowe Instytutów Naukowych
Książka
