- Tytuł:
- A model for changing the technological process for the growth of epitaxial layers by means of the heating of the growth zone
- Autorzy:
- Pankratov, Evgeny L.
- Data publikacji:
- 2021
- Słowa kluczowe:
-
epitaxy
gas phase
improvement of properties
film
analytical approach
modeling - Pokaż więcej
- Dostawca treści:
- BazTech