- Tytuł:
- Numerical calculation of electrostatic forces in Micro Electro Mechanical Systems (MEMS)
- Autorzy:
-
Greiff, M.
Bala, U.
Freitag, J.
Mathis, W. - Data publikacji:
- 2007
- Słowa kluczowe:
-
MEMS
metoda elementów skończonych
siła elektrostatyczna
tensor naprężeń Maxwella
finite element method
electrostatic force
Maxwell stress tensor - Pokaż więcej
- Dostawca treści:
- BazTech