- Tytuł:
- Synteza odpornych na korozję naprężeniową warstw Si3N4 na szkle kwarcowym
- Autorzy:
-
Kwatera, A.
Sawka, A. - Data publikacji:
- 2000
- Słowa kluczowe:
-
quartz glass
silicon nitride layers
stress corrosion
corrosion resistance
CVD
layer synthesis - Pokaż więcej
- Dostawca treści:
- BazTech