- Tytuł:
- System wymiany i pozycjonowania podłoży w urządzeniach PVD/CVD
- Autorzy:
-
Samborski, T.
Kozioł, S.
Matecki, K. - Data publikacji:
- 2008
- Słowa kluczowe:
-
komora próżniowa
procesy PVD/CVD
śluza próżniowa
manipulator
vacuum chamber
PVD processes
load lock
substrate transporters - Pokaż więcej
- Dostawca treści:
- BazTech