- Tytuł:
- Computer Controlled System for the Magnetron Sputtering Deposition of the Metallic Multilayers
- Autorzy:
-
Marszałek, K.
Stępień, J.
Mania, R. - Data publikacji:
- 2014
- Słowa kluczowe:
-
process control system
Al-Ni
magnetron sputtering - Pokaż więcej
- Dostawca treści:
- BazTech