- Tytuł:
- Influence of modulation frequency on the synthesis of thin films in pulsed magnetron sputtering processes
- Autorzy:
-
Strzelecki, G. W.
Nowakowska-Langier, K.
Chodun, R.
Okrasa, S.
Wicher, B.
Zdunek, K. - Data publikacji:
- 2018
- Słowa kluczowe:
-
pulsed magnetron sputtering
pulse plasma
modulation frequency
metallic films
ceramic films - Pokaż więcej
- Dostawca treści:
- BazTech