- Tytuł:
- Wykorzystanie metody Taguchi’ego do optymalizacji procesu ultra-płytkiej implantacji fluoru i azotu z plazmy w. cz.
- Autorzy:
-
Kalisz, M.
Mroczyński, R. - Data publikacji:
- 2013
- Słowa kluczowe:
-
ultra-płytka implantacja
RIE
metoda Taguchi
ultra-shallow implantation
reactive ion etchnig
Taguchi method - Pokaż więcej
- Dostawca treści:
- BazTech