- Tytuł:
- FIB/SEM technology in NEMS/MEMS fabrication and investigation
- Autorzy:
-
Kunicki, P.
Kowalski, Z. W.
Gotszalk, T. - Data publikacji:
- 2016
- Słowa kluczowe:
-
Focused Ion Beam
scanning electron microscope
micro electro-mechanical systems
Nano Electro-Mechanical Systems
zogniskowana wiązka jonów
skaningowy mikroskop elektronowy
mikro elektro-mechaniczny system
nano elektro- mechaniczny system - Pokaż więcej
- Dostawca treści:
- BazTech
Artykuł