- Tytuł:
- SMARTIEHS : interferencyjne stanowisko do równoległych pomiarów MEMS i MOEMS
- Autorzy:
-
Gastinger, K.
Kujawińska, M.
Zeitner, U. D.
Michael, S.
Gorecki, C. - Data publikacji:
- 2010
- Słowa kluczowe:
-
pomiary MEMS/MOEMS
mikrooptyka
interferometria laserowa
dyfrakcyjny element optyczny
interferencja z obniżonym stopniem koherencji czasowej
koherencja czasowa
MEMS/MOEMS testing
microoptics
laser interferometer
diffractive optical elements
low-coherence interferometry - Pokaż więcej
- Dostawca treści:
- BazTech
Artykuł