- Tytuł:
- Comparative studies of the optical absorption coefficient spectra in the implanted layers in silicon with the use of nondestructive spectroscopic techniques
- Autorzy:
-
Dorywalski, Krzysztof
Chrobak, Łukasz
Maliński, Mirosław - Data publikacji:
- 2020
- Słowa kluczowe:
-
silicon
ion implantation
optical absorption coefficient spectra
modulated free carrier absorption
photo thermal radiometry
ellipsometry
nondestructive techniques - Pokaż więcej
- Dostawca treści:
- BazTech
Artykuł