- Tytuł:
- Obrazowanie obszarów implantowanych w materiałach półprzewodnikowych z wykorzystaniem nieniszczącej techniki radiometrii w podczerwieni
- Autorzy:
-
Chrobak, Ł.
Maliński, M. - Data publikacji:
- 2017
- Słowa kluczowe:
-
badania nieniszczące
radiometria w podczerwieni
krzem
parametry rekombinacyjne
czas życia nośników
implantacja jonowa
obrazowanie
nondestructive testing
photothermal radiometry
silicon
recombination parameters
minority carrier lifetime
ion implantation
visualization - Pokaż więcej
- Dostawca treści:
- BazTech
Artykuł