- Tytuł:
- Optoelektroniczne narzędzia do badania in-situ przebiegu procesu syntezy cienkich warstw diamentopodobnych
- Autorzy:
-
Bogdanowicz, R.
Gnyba, M.
Wroczyński, P. - Data publikacji:
- 2008
- Słowa kluczowe:
-
diagnostyka optyczna in-situ
optyczna spektroskopia emisyjna
spektroskopia ramanowska
CVD
warstwy diamentopodobne
optical in-situ monitoring
optical emission spectroscopy
Raman spectroscopy
diamond-like carbon films - Pokaż więcej
- Dostawca treści:
- BazTech
Artykuł