- Tytuł:
- Synergiczne układy warstwowe: azotek krzemu - warstwa przejściowa na multikrystalicznym krzemie
- Autorzy:
-
Bąk, W.
Jurzecka-Szymacha, M.
Jonas, S.
Tkacz-Śmiech, K. - Data publikacji:
- 2010
- Słowa kluczowe:
-
warstwy a-SiNx:H
RF CVD
pasywacja defektów
przewodnictwo elektryczne
a-SiNx:H layers
defect passivation
electrical conductivit - Pokaż więcej
- Dostawca treści:
- BazTech
Artykuł