- Tytuł:
- Optimization of gas injection conditions during deposition of AlN layers by novel reactive GIMS method
- Autorzy:
-
Zdunek, K.
Nowakowska-Langier, K.
Chodun, R.
Dora, J.
Okrasa, S.
Talik, E. - Data publikacji:
- 2014
- Słowa kluczowe:
-
plasma surface engineering
magnetron sputtering
aluminum nitride deposition - Pokaż więcej
- Dostawca treści:
- BazTech