- Tytuł:
- Wpływ ujemnej polaryzacji podłoża na strukturę i własności powłok TiN uzyskanych w procesie PVD
- Autorzy:
-
Dobrzański, L.A.
Kwaśny, W. - Data publikacji:
- 2003
- Słowa kluczowe:
-
polaryzacja podłoża
ujemna polaryzacja podłoża
struktura
własności
powłoka
PVD
parametry pokrywania
właściwości mechaniczne
substrate bias
structure
properties
coating
deposition parameters
mechanical properties - Pokaż więcej
- Dostawca treści:
- BazTech