- Tytuł:
- Spectroscopic ellipsometry studies of elastic and non-elastic strains in Si-SiO2 systems
- Autorzy:
-
Rzodkiewicz, W.
Panas, A. - Data publikacji:
- 2010
- Słowa kluczowe:
-
elipsometria spektroskopowa
układ Si-SiO2
naprężenie
gęstość
współczynnik załamania
spectroscopic ellipsometry
Si-SiO2
stress
density
refractive index - Pokaż więcej
- Dostawca treści:
- BazTech