- Tytuł:
- Badanie mikroporowatości polerowanej powierzchni płytek krzemowych w celu dostosowania sposobu ich wytwarzania do nowych wymagań jakościowych
- Autorzy:
-
Piątkowski, B.
Szymański, S. - Data publikacji:
- 2012
- Słowa kluczowe:
-
płytki krzemowe
mikrochropowatość powierzchni
silicon wafers
surface micro-roughness - Pokaż więcej
- Dostawca treści:
- BazTech