- Tytuł:
- Ion beam assisted deposition of Ti–Si–C thin films
- Autorzy:
-
Twardowska, A.
Rajchel, B.
Jaworska, L. - Data publikacji:
- 2009
- Słowa kluczowe:
-
układ Ti-Si-C
IBAD
cienka warstwa
nanonacięcie
Ti-Si-C system
thin film
nanoindentation - Pokaż więcej
- Dostawca treści:
- BazTech