- Tytuł:
- Chemical vapour deposition-new prospective possibilities
- Autorzy:
-
Sobiecki, J.R.
Wierzchoń, T. - Data publikacji:
- 2007
- Słowa kluczowe:
-
CVD processes
titanium oxicarbonitride
chromium nitride
metalorganic precursors - Pokaż więcej
- Dostawca treści:
- BazTech
Artykuł