- Tytuł:
- Impulsowe zasilanie układu magnetronowego : parametr technologiczny procesu rozpylania
- Autorzy:
-
Wiatrowski, A.
Dora, J.
Posadowski, W. M. - Data publikacji:
- 2005
- Słowa kluczowe:
-
reaktywne rozpylanie magnetronowe
zasilanie impulsowe
reactive magnetron sputtering
pulsed power supply - Pokaż więcej
- Dostawca treści:
- BazTech