- Tytuł:
- Effect of oxygen nonstoichiometry of ceramic targets on deposition process of TiO2 by DC magnetron sputtering
- Autorzy:
- Tomaszewski, H.
- Data publikacji:
- 2003
- Słowa kluczowe:
-
tlen
związki niestechiometryczne
oxygen
nonstoichiometry - Pokaż więcej
- Dostawca treści:
- BazTech