- Tytuł:
- Deposition and properties of refractory metallic films for diffusion barrier applications in Au-based metallizations to III-V semiconductors
- Autorzy:
-
Kamińska, E.
Piotrowska, A.
Guziewicz, M.
Gołaszewska, K.
Barcz, A.
Turos, A.
Mizera, E.
Adamczewska, J.
Rouvimov, S.
Liliental-Weber, Z.
Bremser, M. D.
Davis, R. F. - Data publikacji:
- 1999
- Dostawca treści:
- BazTech
Artykuł