- Tytuł:
- Metoda otrzymywania monokrystalicznych folii krzemowych z wykorzystaniem krzemu porowatego
- Autorzy:
-
Sarnecki, J.
Brzozowski, A.
Lipiński, D. - Data publikacji:
- 2014
- Słowa kluczowe:
-
warstwa epitaksjalna
krzem porowaty
CVD
folia krzemowa
epitaxial layer
porous silicon
silicon foil - Pokaż więcej
- Dostawca treści:
- BazTech