- Tytuł:
- Correlation between copper precipitation and grown-in oxygen precipitates in 300 mm czochralski silicon wafer
- Autorzy:
- Dong, Ping
- Współwytwórcy:
-
Ma, X. Y.
Yang, D. - Data publikacji:
- 2014
- Tematy:
- Fizyka
- Pokaż więcej
- Dostawca treści:
- Academica
Artykuł