- Tytuł:
- Mikrokomputerowy system sterowania przemysłową linią próżniową do nanoszenia cienkich warstw metodą jonowego rozpylania magnetronowego
- Autorzy:
-
Marszałek, K.
Dziadecki, A.
Żegleń, T. - Data publikacji:
- 2002
- Słowa kluczowe:
-
mikrokomputerowy system sterowania
przemysłowa linia próżniowa
metoda jonowego rozpylania magnetronowego
microcomputer control system
technological equipment - Pokaż więcej
- Dostawca treści:
- BazTech