- Tytuł:
- Kształtowanie warstw dyfuzyjnych przy wykorzystaniu domieszek wolnodyfundujących
- Autorzy:
-
Wróbel, E.
Filipowski, W.
Waczyński, K. - Data publikacji:
- 2008
- Słowa kluczowe:
-
domieszkowanie półprzewodników
metoda spin-on
parametry warstw dyfuzyjnych
doping of semiconductors
spin-on method
parameters of diffusion layers - Pokaż więcej
- Dostawca treści:
- BazTech