- Tytuł:
-
Materiały Elektroniczne 1987 nr 2(58)
Badania elipsometryczne krzemu implantowanego fosforem = Ellipsometric studies of P+ implanted silicon
Badania elipsometryczne krzemu implantowanego fosforem - Autorzy:
- Gawlik Grzegorz
- Data publikacji:
- 1987
- Wydawca:
- Wydaw. Przemysłu Maszynowego "WEMA"
- Słowa kluczowe:
-
Si
implanted silicon
Elektronika - czasopismo - materiały
ellipsometric studies
Materiały elektroniczne
Electronic materials
elipsometria
Electronic - journal - material - Pokaż więcej
- Dostawca treści:
- RCIN - Repozytorium Cyfrowe Instytutów Naukowych
Książka