- Tytuł:
- Metody mikroskopii bliskiego pola od mikro- do nanoelektroniki: diagnostyka, wytwarzanie
- Autorzy:
-
Gotszalk, T.
Sikora, A.
Kolanek, K.
Szeloch, R.
Szmidt, J.
Grabiec, P.
Rangelow, I. W.
Mitura, S. - Data publikacji:
- 2005
- Słowa kluczowe:
-
mikroskopia sił atomowych
lokalna anodyzacja powierzchni
nanolitografia
tranzystor jednoelektronowy
atomic force microscopy (AFM)
local anodization
nanolithography
single electron transistor - Pokaż więcej
- Dostawca treści:
- BazTech
Artykuł