- Tytuł:
- Ocena parametrów metrologicznych mikromechanicznych dźwigni piezorezystywnych
- Autorzy:
-
Woszczyna, M.
Janus, P.
Grabiec, P.
Kolek, A.
Gotszalk, T.
Rangelow, I. W. - Data publikacji:
- 2008
- Słowa kluczowe:
-
dźwignia piezorezystywna
mikroskopia sił atomowych
nanotechnologia
piezoresistive cantilever
atomic force microscopy (AFM)
nanotechnology - Pokaż więcej
- Dostawca treści:
- BazTech