- Tytuł:
- Analysis of solid and ionic surface reaction form to surface quality when using chemical-mechanical slurry polishing
- Autorzy:
-
Duc, Le Anh
Hieu, Pham Minh
Mai, Nguyen Trong
Trong, Thai Van
Quang, Nguyen Minh - Data publikacji:
- 2022
- Wydawca:
- Wrocławska Rada Federacji Stowarzyszeń Naukowo-Technicznych
- Tematy:
-
chemical-mechanical slurry
polishing
abrasive particle
ionic surface reaction
yttrium aluminum garnet
surface roughness - Pokaż więcej
- Dostawca treści:
- Biblioteka Nauki
Artykuł