- Tytuł:
- System sterowania wiązką elektronów dział elektronowych dużych mocy w zastosowaniu do urządzeń EB PVD
- Autorzy:
-
Czopik, A.
Sielanko, W.
Jędrzejczyk, M. - Data publikacji:
- 2009
- Słowa kluczowe:
-
wiązka elektronów
sterowanie
odchylanie
electron beam
control system
deflection - Pokaż więcej
- Dostawca treści:
- BazTech