- Tytuł:
- Thermal characterization of copper thin films made by means of sputtering
- Autorzy:
-
Szeloch, R. F.
Posadkowski, W. M.
Gotszalk, T. P.
Janus, P.
Kowaliw, T. - Data publikacji:
- 2003
- Słowa kluczowe:
-
copper
magnetron
sputtering
scanning thermal microscopy - Pokaż więcej
- Dostawca treści:
- BazTech