- Tytuł:
- Structural, optical and electrical characterization of Co-Pd doped TiO2 semiconducting thin films sputtered on silicon
- Autorzy:
-
Domaradzki, J.
Prociów, E.
Kaczmarek, D.
Berlicki, T.
Kudrawiec, R.
Misiewicz, J.
Mielcarek, W. - Data publikacji:
- 2003
- Słowa kluczowe:
-
thin films
magnetron sputtering
hot target
oxide semiconductors
heterojunction - Pokaż więcej
- Dostawca treści:
- BazTech