- Tytuł:
- Effect of target power on the physical properties of Ti thin films prepared by DC magnetron sputtering with supported discharge
- Autorzy:
-
Kavitha, A.
Kannan, R.
Rajashabala, S. - Data publikacji:
- 2017
- Słowa kluczowe:
-
Ti thin films
supported discharge/triode mode
DC magnetron sputtering
target power - Pokaż więcej
- Dostawca treści:
- BazTech