- Tytuł:
- Odchylanie wiązki elektronów dużej mocy w urządzeniach EB-PVD
- Autorzy:
-
Sielanko, W.
Czopik, A.
Jędrzejczyk, M.
Kulabko, A.
Krawczyk, S.
Kozłowski, M. - Data publikacji:
- 2007
- Słowa kluczowe:
-
wiązka elektronów
WE
układ odchylania
EB-PVD
electron beam
EB
deflection system - Pokaż więcej
- Dostawca treści:
- BazTech