- Tytuł:
- Preparation of highly transparent and uniform in thickness CVD layers of Si3N4 on dielectric substrates.
- Autorzy:
-
Kwatera, A.
Sawka, A. - Data publikacji:
- 2001
- Słowa kluczowe:
-
CVD
warstwa
szkło kwarcowe
przeświecalność
gaz nośny
argon
warstwy ciągłe
ochrona przed dyfuzją
layer
quartz glass tubes
transparency
carrier gas
continuous layers
protection-against diffusion - Pokaż więcej
- Dostawca treści:
- BazTech
Artykuł