- Tytuł:
- Structural and optical properties of aluminium nitride thin films fabricated using pulsed laser deposition and dc magnetron sputtering on various substrates
- Autorzy:
-
Virt, Ihor
Potera, Piotr
Wisz, Grzegorz
Dziedzic, Andrzej
Cieniek, Bogumił
Lopatynskyi, Ivan
Frugynskyi, Marian - Data publikacji:
- 2024
- Słowa kluczowe:
-
thin solid films
AlN
optical properties
structural properties
pulsed laser deposition
PLD
DC magnetron sputtering
cienkie warstwy
właściwości optyczne
właściwości strukturalne
rozpylanie magnetronowe - Pokaż więcej
- Dostawca treści:
- BazTech
Artykuł