- Tytuł:
-
Badanie wpływu stałej sprężystości i morfologii powierzchni na zjawisko emisji kątowej w klastrowej litografii jonowej wybranych metali
The research on the influence of modulus of elasticity and surface morphology on angular distributions of sputtered atoms from chosen metals in ion gas cluster litography - Autorzy:
- Maciążek, Dawid
- Słowa kluczowe:
-
Litografia klastrowa, dynamika molekularna, rozpylanie
Ion gas cluster lithography, molecular dynamics, sputtering - Pokaż więcej
- Dostawca treści:
- Repozytorium Uniwersytetu Jagiellońskiego
Inne