Wszystkie pola: PVD processes

Skocz do pozycji: 1.

Tytuł:: System wymiany i pozycjonowania podłoży w urządzeniach PVD/CVD
The system of positioning substrates in PVD devices
Autorzy:: Samborski, T.
Kozioł, S.
Matecki, K.
Data publikacji:: 2008
Wydawca:: Sieć Badawcza Łukasiewicz - Instytut Technologii Eksploatacji - Państwowy Instytut Badawczy
Tematy:: komora próżniowa
procesy PVD/CVD
śluza próżniowa
manipulator
vacuum chamber
PVD processes
load lock
substrate transporters; Pokaż więcej
Dostawca treści:: Biblioteka Nauki

Artykuł

Szczegóły

Skocz do pozycji: 2.

Tytuł:: System wymiany i pozycjonowania podłoży w urządzeniach PVD/CVD
Autorzy:: Samborski, T.
Kozioł, S.
Matecki, K.
Data publikacji:: 2008
Słowa kluczowe:: komora próżniowa
procesy PVD/CVD
śluza próżniowa
manipulator
vacuum chamber
PVD processes
load lock
substrate transporters; Pokaż więcej
Dostawca treści:: BazTech

Artykuł

Szczegóły

Skocz do pozycji: 3.

Tytuł:: Modułowe urządzenie próżniowe do badań procesów PVD i CVD oraz pilotowych wdrożeń technologii przemysłowych
Autorzy:: Samborski, T.
Kozioł, S.
Matecki, K.
Data publikacji:: 2009
Słowa kluczowe:: urządzenie próżniowe modułowe
badania procesów PVD i CVD
wdrażanie
wdrożenie przemysłowe pilotowe
Instytut Technologii Eksploatacji
modular vacuum device
PVD and CVD process examining
implementation
pilot industrial application
Institute for Sustainable Technologies; Pokaż więcej
Dostawca treści:: BazTech

Artykuł

Szczegóły

Informacja