- Tytuł:
- Nanopatterning in a compact setup using table top extreme ultraviolet lasers
- Autorzy:
-
Wachulak, P. W.
Capeluto, M. G.
Menoni, C. S.
Rocca, J. J.
Marconi, M. C. - Data publikacji:
- 2008
- Słowa kluczowe:
-
nanopatterning
interferometric lithography
EUV lasers
photoresist - Pokaż więcej
- Dostawca treści:
- BazTech
Artykuł