- Tytuł:
- Evidences of the formation of a conductive Al film on AlN surface under UV excimer laser radiation.
- Autorzy:
-
Yaghdjian, L.
Nicolas, G.
Vacquier, G.
Autric, M. - Data publikacji:
- 1998
- Słowa kluczowe:
-
warstewka przewodząca
warstewka metalowa
aluminium
ceramika twarda
własności elektryczne
własności optyczne
laser ekscymerowy
opór elektryczny
conductive film
metallic film
hard ceramic
electrical properties
optical properties
excimer laser
electrical resistance - Pokaż więcej
- Dostawca treści:
- BazTech
Artykuł