- Tytuł:
- AIN layers plasmochemically produced as semiconductors
- Autorzy:
-
Werbowy, A.
Pawłowski, P.
Siwiec, J.
Szmidt, J.
Olszyna, A.
Sokołowska, A. - Data publikacji:
- 1999
- Słowa kluczowe:
-
półprzewodniki
warstwy powierzchniowe
azotek glinu
metoda plazmowo-chemiczna
semiconductors
surface layers
plasmochemically method - Pokaż więcej
- Dostawca treści:
- BazTech