- Tytuł:
- Litografia struktur III-V z użyciem plazmy BCl3 o podwyższonej gęstości
- Autorzy:
-
Guziewicz, M.
Gołaszewska, K.
Piotrowski, T. T.
Ratajczak, J.
Piotrowska, A. - Data publikacji:
- 2001
- Słowa kluczowe:
-
proces trawienia związków
GaSb
GaAs
process of digesting of association - Pokaż więcej
- Dostawca treści:
- BazTech