- Tytuł:
- Model of high rate reactive pulsed magnetron sputtering
- Autorzy:
-
Tadaszak, K.
Posadowski, W. M. - Data publikacji:
- 2011
- Słowa kluczowe:
-
reaktywne rozpylanie magnetronowe
niezbalansowany magnetron
model procesu rozpylania
reactive magnetron sputtering
unbalanced magnetron
model of sputtering process - Pokaż więcej
- Dostawca treści:
- BazTech