- Tytuł:
- Wydajność otrzymywania warstw dielektrycznych nanoszonych metodą reaktywnego rozpylania magnetronowego
- Autorzy:
-
Posadowski, W. M.
Kudzia, J.
Wiatrowski, A. - Data publikacji:
- 2005
- Słowa kluczowe:
-
proces reaktywnego impulsowego rozpylania magnetronowego
warstwy AINx
AlxOy
pulsed magnetron sputtering
layers AINx - Pokaż więcej
- Dostawca treści:
- BazTech