- Tytuł:
- Próżniowe, wysokowydajne, osadzanie cienkich warstw dielektrycznych metodą reaktywnego, impulsowego rozpylania magnetronowego : wybór punktu pracy magnetronu
- Autorzy:
-
Posadowski, W. M.
Tadaszak, K.
Wiatrowski, A. - Data publikacji:
- 2011
- Słowa kluczowe:
-
impulsowy magnetron
reaktywne rozpylanie magnetronowe
pulsed magnetron
reactive magnetron sputtering - Pokaż więcej
- Dostawca treści:
- BazTech
Artykuł