- Tytuł:
- Influence of substrate type on structure of C-Pd thin films
- Autorzy:
-
Kowalska, E.
Czerwosz, E.
Kozłowski, M.
Firek, P.
Rymarczyk, J.
Radomska, J. - Data publikacji:
- 2011
- Słowa kluczowe:
-
warstwy węglowo-palladowe
metoda PVD/CVD
płytki Si
warstwy DLC
membrany ceramiczne
carbonaceous-palladium films
PVD/CVD method
Si wafers
DLC layer
ceramic membranes - Pokaż więcej
- Dostawca treści:
- BazTech