- Tytuł:
- Właściwości ciennkich warstw węgloazotka krzemu wytwarzanych w selektywnym procesie plazmowym CVD
- Autorzy:
-
Wróbel, A. M.
Błaszczyk-Łężak, I.
Walkiewicz-Pietrzykowska, A. - Data publikacji:
- 2006
- Słowa kluczowe:
-
warstwy węgloazotku krzemu
właściwości fizyczne i mechaniczne
wpływ temperatury podłoża na strukturę
selektywny proces plazmowy CVD - Pokaż więcej
- Dostawca treści:
- BazTech
Artykuł