- Tytuł:
-
Analiza dokładności pomiarów nanometrycznych wzorców mikrogeometrii powierzchni za pomocą mikrointerferometru i profilometru stykowego
Measurement accuracy analysis for microgeometry nanostandards with microinterferometer and stylus profilometer - Autorzy:
- Ślusarski, Ł.
- Data publikacji:
- 2018
- Wydawca:
- Wojskowa Akademia Techniczna im. Jarosława Dąbrowskiego
- Tematy:
-
nanometrology
depth/height standards
microinterferometry
contact profilometry
nanometrologia
wzorce schodkowe
mikrointerferometr
profilometr stykowy - Pokaż więcej
- Dostawca treści:
- Biblioteka Nauki
Artykuł